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STE35R技术平台专为半导体异质结构的批量生产而设计，允许通过机器人 UHV 集群工具组合多个生长室。 STE35R适用于 A3B5、A2B6、A3N 化合物以及 A3B5/A2B6 混合纳米异质结构的外延生长。
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