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多功能 PVD平台STE D700为各种晶圆上的薄膜沉积提供了广泛的解决方案。平台可配备不同的源，包括电子束、磁控管或电阻热蒸发器及其组合。平台设计针对保护屏频繁更换的需要进行了优化，并可以轻松访问厚度监测器的石英晶体谐振器。
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