白俄罗斯国家科学院BIStepanov物理研究所向用户提供激光光学检测系统，用于对半导体和电介质材料（硅、锗、砷化镓、蓝宝石）制成的抛光结构化和非结构化晶圆（包括具有外延层的晶圆）进行表面检测，目的是检测因晶体结构破坏（生长缺陷）、奇数颗粒（灰尘、光刻胶、溶剂）和技术层完整性破坏（划痕）而引起的局部缺陷。激光光学检测系统具有以下功能：自动对焦；暗场和明场显示；测定表面哑光度；以各种分辨率显示晶圆；自动计算缺陷按尺寸和类型分布的统计数据；以高速和分步模式自动扫描整个晶圆；自动将测量结果和图像保存到磁盘或可移动数据存储器；自动识别缺陷类型（生长缺陷、引入缺陷、划痕、污染）；交互式导航，可详细高分辨率（高达 200 纳米）观察晶圆截面。与类似系统相比，所开发的激光光学检测系统的优势在于，其软件不仅允许对测量结果进行统计处理，计算缺陷数量，还允许构建缺陷定位图并分析缺陷类型和大小。