1、提高单管产能，从而降低单片太阳电池水、电、气消耗，能有效提高生产效率； 2、通过对高频电场控制、热场控制、气场控制、工艺压力控制技术的创新，有效解决了既保证大产能、快速成膜又保证优质成膜均匀性这一对矛盾体难题； 3、通过对自动控制软件、设备自动化程度、安全性能保护技术的不断创新，使设备基本达到了全自动运转，提高生产效率，降低人工成本； 4、研发氧化铝和氮化硅二合一背钝化工艺，实现PERC电池工艺，缩短工艺时间，提高生产效率，从而降低电池片生产成本； 主要技术指标： 1）装片量：416片/管（兼容400片/管、432片/管）； 2)炉膛有效内径：405mm； 3)工作压力：13~300Pa 4） 升温时间：RT-400℃≤45min； 5）极限真空：≤3Pa； 6）升温方式：具有自动斜率升级温及恒温功能； 7）安全保护：：具有完善的超温、断偶、短路、断气报警保护。 该项目成果管式等离子体增强化学气相沉积系列设备，从提高设备产能、镀膜均匀性、设备自动化程度和背钝化工艺等方面进行研究攻关，取得了一系列创新成果，发明了一种前后电极石墨舟及化学气相沉积设备、一种温度控制系统和方法、一种用于PECVD设备的进气混合装置、一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构、一种提高机械手载重的PECVD设备、一种基于等离子刻蚀技术的背面接触晶体硅太阳电池的制备方法等三十余项专利技术。集成这些专利技术的管式等离子体增强化学气相沉积系列设备，可有效提高太阳电池转换效率，降低生产成本，投入市场便得到客户的一致认可，取得了良好的经济效益和社会效益。