STE35 先进的 MBE 平台，适用于 A3B5 | A2B6 | A3N 复合半导体生长

应用领域：电子信息

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

现代化的半自动化技术平台，用于在最大 Ø150mm 的基板上精确生长 A3B5、A2B6 或 A3N 化合物。该平台专为外延异质结构的研发和试生产而设计。STE35配置灵活，可配备各种带有 10 或 12 个分子源端口的生长室。最佳生长几何结构可实现优异的厚度和成分均匀性。

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