STE EB71 自动化超高真空电子束蒸发系统

应用领域：电子信息

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

STE EB71系统适用于高真空和超高真空环境下的电子束薄膜蒸发。系统设计允许通过调节蒸发器与晶圆之间的距离来优化材料消耗。特殊的“掩模”技术可确保蒸发材料的高均匀性。主要优势：1.超高真空下的高质量薄膜沉积；2.通过调节蒸发到晶圆的距离来优化材料消耗；3.由于采用特殊的“掩模”技术，厚度均匀性得到改善。

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