用于批量晶圆处理的 STE EB65 电子束蒸发系统

应用领域：电子信息

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

STE EB65系统用于在高真空条件下获取金属、电介质和半导体材料薄膜，一次性批量装载最大 3×Ø200mm 的晶圆。STE EB65系统的特殊之处在于蒸发室，它由真空闸阀隔开，用于快速抽空主容积并在晶圆装载后启动工艺过程。主要优势：1.蒸发室体积密封隔离；2.由于采用特殊的“掩模”技术，厚度均匀性得到改善。

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