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STE MS150系统的灵活配置允许使用各种源及其组合，并为金属和电介质薄膜的磁控溅射和电阻热蒸发提供广泛的功能。 主要优势：1.灵活配置；2.由于使用柔性支架上的源而产生共焦溅射；3.垂直于晶圆批量加工转盘旋转平面的磁控管源设置。
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