用于批量晶圆处理的 STE MS900 磁控溅射系统

应用领域：电子信息

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

磁控溅射和电阻热蒸发系统STE MS900适用于研发和试生产，并确保获得极其广泛的多层涂层（金属、电介质、电阻合金、ITO 薄膜等）。优化的STE MS900 HV 蒸发室包括一个固定源块和一个升降顶盖。符合人体工程学的设计，配备有升降机构，方便维护蒸发器和用于收集溅射材料的屏幕系统。主要优势：1.通过 180° 晶圆支架翻转实现双面溅射；2.采用锁室配置的“穿墙式”安装。

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