确定半导体异质结构中主要电荷载流子浓度分布曲线的技术

应用领域：电子信息

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

按深度确定半导体异质结构中主要电荷载流子浓度分布轮廓的方法，其中使用半导体异质结构样品来测量电容，其不同之处在于：另外对结构的每个功能层进行蚀刻，测量电容在非稳态模式下的电压依赖性和耗散因数的电压依赖性，确定给定深度的 "轮廓窗口"，然后在非稳态模式下重新计算非稳态的电容，并确定耗散因数的电压依赖性。

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