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本实用新型涉及微系统技术领域，特别是超声波传感器。其技术成果是扩大了压电微机电超声换能器矩阵的工作频率范围。该技术成果是通过以下事实实现的：在拟议的压电微机电超声波传感器矩阵中，相同的方形膜通过不同数量的挂架固定在基板上，这使得传感器的工作频率范围很宽，同时不会使光电模板和信号处理电路的设计过程复杂化。
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