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本发明涉及测量技术和微系统技术领域。整体微机械陀螺仪另外包含八个由半导体材料制成的扭转元件，它们沿惯性质量的边缘相对于基板留有间隙；四个由半导体材料制成的固定静电驱动电极，它们直接位于基板上，并通过蚀刻通道相互隔离；位于支撑和固定电极上的额外金属接触垫；四个由半导体材料制成的静电驱动活动电极，它们相对于基板留有间隙；四个由半导体材料制成的静电驱动活动电极，它们直接位于基板上，并通过蚀刻通道相互隔离；位于支撑和固定电极上的额外金属接触垫。静电驱动装置的另外四个可移动电极由半导体材料制成，与基板之间留有间隙，并与电容式位移传感器的另外四个固定电极以及由氧化硅制成的另外一层半导体材料形成平面电容器。
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