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本发明涉及微系统技术领域，可用于集成电子开关信号。其技术成果是，厘米波范围内的信号切换具有低插入损耗、低电感、低偏置电压、从一种状态切换到另一种状态的时间短、对振动和外部加速度不敏感、在大功率信号切换时不产生任意开关动作、增加静电致动器固定上电极结构的刚性等特点。
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