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基于冷等离子体的微电子专用材料生产技术
应用领域：电子信息
我有意向
国家/地区
俄罗斯
行业领域
电子信息
简介

通过应用该技术，将获得用于生产电子产品的特殊材料（“2030年前电子工程发展综合计划”）：甲硅烷、乙炔、乙烯、氢气。

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