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光谱椭偏仪具有以下特点:不超过 250 个字符;以小于 1 nm 的分辨率确定体积结构和薄膜的尺寸特性;表征外延层和基材的形态特性(孔隙率、表面粗糙度)。光谱椭偏仪的特点是:测量稳定性高、准确度高;样品对准精度高;测量速度快;分析重现性高;非接触式无损分析方法;易于使用、软件方便。