制造和供应用激光拉曼光谱法控制微波单片集成电路温度场的装置

应用领域：先进制造与自动化

我有意向

国家/地区

白俄罗斯

行业领域

先进制造与自动化

简介

白俄罗斯国家科学院 BIStepanov 物理研究所制造了用于使用共聚焦显微镜对微波单片集成电路 (MMIC) 工作半导体仪器结构中的激光辐射拉曼散射进行温度场测绘的设备，具有亚微米空间分辨率。局部温度是根据散射激光辐射的斯托克斯和反斯托克斯分量的强度比确定的，这使得无需参考固体溶液中的特定材料或元素比例即可确定局部温度。这还可以确定 LED 和激光二极管输出镜中的局部温度。在开发的装置中，局部温度由散射光分量的强度比决定，这使得可以排除由于加热不均匀而导致的异质结构中机械应力的变化对由斯托克斯分量的光谱偏移决定的温度的贡献（标准方法）。

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