STE ICP200D 电感耦合等离子体化学沉积系统

应用领域：先进制造与自动化

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

先进制造与自动化

简介

STEICP200D 系统基于 STEICP200 平台，旨在进行密集型研发和批量生产。该平台实现了电感耦合等离子体中电介质（SiNx，SiO2 等）。具有优化气体分配系统的现代化小体积反应器显著提高了晶片处理的均匀性和再现性，并减少了预泵送时间。易于访问所有系统组件，便于日常维护。

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