STE RTA100 快速热退火系统

应用领域：先进制造与自动化

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

先进制造与自动化

简介

STE RTA100 系统专为在惰性气氛中对半导体晶圆进行短时间退火而设计，温度高达 1000°C。该系统广泛用于基于 A3B5 半导体化合物的电子设备生产线中的欧姆接触退火。主要优势：1.加热均匀度±2%；2. 最大加热速率：-30°C/秒（石墨台）、-150°C/秒（石英台）；3.较高的运行重现性；4.多阶段退火过程的编程。

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