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多功能 PVD 平台
应用领域:先进制造与自动化
我有意向
国家/地区
俄罗斯
行业领域
先进制造与自动化
简介

多功能 PVD 平台 STE D700 为各种晶圆上的薄膜沉积提供了广泛的解决方案。平台可配备不同的源,包括电子束、磁控管或电阻热蒸发器及其组合。平台设计针对保护屏频繁更换的需要进行了优化,并可以轻松访问厚度监测器的石英晶体谐振器。

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