从碳化硅势垒排列中发射电子的表面器件

应用领域：先进制造与自动化

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国家/地区

墨西哥

行业领域

先进制造与自动化

简介

本发明涉及电子的表面发射体，其从碳化硅上的微米石墨烯排列发射电子。发射极由多个SiC势垒组成，这些势垒非常接近和相似，并且它们之间的轴平行，通过等间距的自对准形成。在低电压下操作该器件有助于获得有效发射，这是由从阴极接触注入的电子的势垒之间的量子机械隧穿造成的。

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