带有消色差聚焦光学元件的光谱椭圆偏振仪

应用领域：先进制造与自动化

我有意向

国家/地区

白俄罗斯

行业领域

先进制造与自动化

简介

光谱椭偏仪具有以下特点：（1）不超过 250 个字符；（2）以小于 1 nm 的分辨率确定体积结构和薄膜的尺寸特性；（3）表征外延层和基材的形态特性（孔隙率、表面粗糙度）。光谱椭偏仪的优势是：（1）测量稳定性高、准确度高；（2）样品对准精度高；（3）测量速度快；（4）分析重现性高；（5）非接触式无损分析方法；（6）易于使用、软件方便。

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