本项目分析国产化He-Ne激光器特性，探寻稳频部件材料配比，提出一种双纵模热结构腔高精度稳频技术，攻克工业现场级高精度频率稳定的难题。自主研发的激光干涉仪在He-Ne激光器热稳频有两种实现方法，一种是在激光管外直  接缠绕加热元件，通过加热元件对激光管的温度进行调节，从而实现对激光管长度的控制来达到稳频；另一种通过控制激光器的激励电流直接控制放电管中等离子体的温度来调节激光器的腔长，进而输出频率稳定的激光。解决了激光分裂频率和频率稳定控制卡脖子问题。针对工业现场复杂环境及高端装备制造多通道同步控制的需求，独创一种高动态多通道同步接口技术和软硬件测  控平台激光干涉测量技术以期高精度、大量程、非接触、同轴测量（遵循阿贝原则）的优越特性成为诸如光刻机等高端装备位置反馈器件。本项目独创高动态多通道同步接口技术  实现了多达35通道、同步误差10纳秒，数据采集速度10M/s，且核心芯片CPLD（或FPGA）均采用国产化器件。解决操作系统升级导致的兼容性问题和高端装备集成应用难题。