本创新成果以高纯六氟乙烷的规模化生产为目标，采用精馏与低温吸附相结合的方法，改用高效CO2专用吸附剂替代普通分子筛进行除CO2，该吸附剂仅吸附CO2，不吸附其它物质，解决了六氟乙烷中CO2分离困难的问题，并大大减少了吸附剂的再生次数，实现产品中CO2≤0.5ppm。对于水分吸附采用进行加压吸附，产品从精馏塔出来后，利用自身冷量进行低温吸附，然后在膜压机一级压缩出口处的气体纯化器，进行加压吸附，大大增强了分子筛的吸附效果（原为常压吸附），实现H2O≤1ppm。对于容易形成共沸物杂质的去除，采用多级精馏的方式，控制温度和压力，维持稳定的液面，实现纯度5N3，并建立年产400吨高纯C2F6生产线。该项目的顺利开展突破了高纯六氟乙烷生产相关的瓶颈问题，促进我国半导体电子制造业等相关产业的发展。