一种锥形螺杆转子及其双螺杆真空泵

应用领域：先进制造与自动化

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

先进制造与自动化

简介

成果简介（技术分析和应用前景分析）：本发明公开了一种锥形螺杆转子及其双螺杆真空泵，属于干式双螺杆真空泵领域；包括吸气段、压缩段和排气段，吸气段和排气段都为等螺距且等截面型线，压缩段为变螺距且变截面型线的锥形螺杆转子；该螺杆转子具有内容积比大、结构紧凑、轴向尺寸短和加工难度低的优点，提高了双螺杆真空泵的极限真空度和抽速，可以广泛应用于半导体、化工、电子、核能、食品、医药等领域。

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