（1）优化设计了三层宽带增透薄膜的膜层、厚度和折射率等参数,薄膜在 300~800nm 可见光范围内平均透过率高达 98%。（2）系统的研究了醇硅摩尔比、水硅摩尔比、催化剂种类以及陈化时间对 SiO2 溶胶粒度、粘度以及溶胶稳定性能的影响。（3）利用六甲基二硅氮烷处理酸催化制备的 SiO2 膜制备疏水 SiO2 层, 薄膜折射率为 1.436,基本复合 TFCcal 设计中 SiO2 层所需折射率值,在保证薄膜机械强度的前提下后者疏水改性工艺更加优异.（4）实验得出要制备形貌均一、粗糙度低的 SiO2-TiO2 复合薄膜的最佳工艺条件。（5）薄膜性能测试表明:采用提拉法制备薄膜,当 TiO2-SiO2 层、TiO2 层、SiO2 层提拉速度分别为 190 mm/min、 420 mm/min、 190 mm/min 时制备的三层膜在 300nm~800nm 范围内平均透过率为 97.03 %; 薄膜耐环境测试表明,将镀有三层疏水膜玻璃和空白玻璃放置在室外两个月,经清洗后镀有疏水增透膜的透过率仅下降 0.143%, 而空白玻璃经清洗后透过率下降了 1.54 %,薄膜耐候性良好;采用铅笔硬度和划格法测试了薄膜的硬度和附着力分别达到了 3H 和 4B 级别; 将三层膜应用到非晶硅电池上,电池转换效率相对未添加减反射膜电池效率从3.12%提升到 3.58%。